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检测治理知识
洁净室各项目检测方法总结

时间:2020-11-19 作者:环检检测

    我们知道洁净室在洁净度的要求上非常高,所以需要检测的项目很多,那么你知道洁净室各项目检测的方法是什么吗?洁净室第三方检测公司为大家解答。
    一、说明

    过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中,最复杂、最耗时间的测量项目。泄漏测试的目的,是要确认:

    1. 滤网的材料无破损,

    2. 安装恰当。

    滤网出厂前当然要经过泄漏测试,但是在搬运与安装过程难保完全无损,而且滤网的重要性又大于一切,因此安装完毕都要做一次扫描,以确认滤材无任何泄漏。另外,若是安装不恰当,微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是 FFU 系统,天花板上是负压,若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此,边框扫描一样重要。 滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒,然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式,适用在不同的场合。

    二、方法

    气溶胶光度计测试法

    气胶光度计测试法是最早期的测试方式,但是因为效果非常好,到今天仍旧沿用。气胶光度计( Aerosol Photometer )是微粒计数器的一种,也是使用雷射科技,但是它在扫描空气样本的微粒之后,所给的是微粒的总体强度,不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质,现改用PAO,加压或加热雾化之后,可以产生次微米等级的微粒,可用来模拟无尘室的微粒,因此被当成验证微粒。 微粒计数器测试法

    半导体业方面,早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计,但是随着制造精密度增加,油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用,因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒,在上游施放,然后用微粒计数器在下游扫描,寻找泄漏,基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果,发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制,因此是目前最广为使用的标准微粒。

    洁净度测试

    一、说明

    洁净度测试是无尘室性能测试的核心,气流测试、压力测试,与泄漏测试,都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响,因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕,与落尘有关的性能因素就都测试完毕,其它测试对洁净度影响不大,或是属于其它环境测试。

    二、测试仪器

    洁净度测试使用微粒计数器,仪器须经校正合格且仍在有效期限内,交附报告时须附合格之校正文件。微粒计数器有不同规格,最常见的是流量 1cfm ,最小粒径可测到 0.3mm 或是 0.1mm ,单位多是立方英尺。至于应使用何种设备,要依业主的规范而定。一般在产业界,多依以下方式选择微粒计数器。

    Class 1000 或更高: 0.5μm

    Class 100 : 0.3μm ,0.5um

    Class 1 到 Class 10 :0.1μm

    若是业主要求的粒径范围超过单一微粒计数器的范围,则应该使用两部微粒计数器。目前市面上少见立方公尺的微粒计数器,因此若是无尘室的洁净度是以 ISO 为基准,则要把结果作换算。单位换算,不影响上限的计算程序。

    三、测试步骤:

    (1) 确定空调系统之测试调整与平衡已完成,滤网之风速及泄漏测试均已完成,并已修换破损部分。

    (2) 确认测试位置与测试点数。

    (3) 取样时间:每点的取样时间依照等级与粒径不同而异,若取样时间小于一分钟,则以一分钟为准。

    洁净室第三方检测公司为大家分享以上内容,希望可以帮助到大家。
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